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[서울=뉴스핌] 배상희 기자 = 중국의 반도체 자립이 속도를 내면서 생산라인의 핵심 병목을 장악하는 기업들의 가치가 부각되고 있다. 중국 내 장비 국산화를 주도하며 생산라인의 핵심 영역을 선점한 기업들의 재평가가 이뤄지고 있는 것이다.

반도체 미세공정 전환과 함께 중요성이 커지는 대표적인 분야인 CMP(화학·기계적 평탄화) 장비 분야에서 두각을 나타내고 있는 화해청과(華海清科·HWATSING 688120.SH)도 그 중 하나다.

CMP 장비를 기반으로 장비 포트폴리오와 서비스 사업을 확장하며 중국 반도체 장비 국산화의 대표주자로 자리 잡은 화해청과는 '국산화'라는 성장의 1단계를 넘어 '첨단 공정 진입과 성장의 질 개선'이라는 다음 단계로의 도약에 속도를 내고 있다.

◆ 중국 CMP 장비 국산화 선도하는 국유기업

화해청과는 중국 내 CMP(화학∙기계적 평탄화) 장비 선도기업으로, '장비+서비스' 전략을 통해 중국 내 집적회로 제조의 국산화 선도 기업 중 하나로 성장했다.

2013년 칭화(清華)대학교와 톈진(天津)시 정부의 합작으로 설립된 국유 반도체 장비 기업이다. 이후 지분구조가 변화하며 현재 최대 주주는 칭콩창업투자유한회사(清控創業投資有限公司)가 됐으며, 칭콩창업투자의 실질적 지배자는 쓰촨성 국유자산감독관리위원회(四川省國資委)다.

회사의 수석과학자이자 핵심 기술인력인 루신춘(路新春)은 20여 년간 CMP 기술을 연구해온 경력을 보유하고 있으며, 중국 내 CMP 기술 발전과 산업화를 이끈 주요 인물 중 한 명이기도 하다.

화해청과는 중국 여러 지역에 반도체 장비 연구개발, 생산, 판매, 기술 서비스 등의 사업을 담당하는 다수의 자회사를 두고 있다. 대표적으로 2025년에는 집적회로용 이온 주입기 연구개발에 주력하는 신위반도체유한공사(芯崳半導體有限公司) 지분 100%를 인수해 완전 자회사로 편입했다.

설립 후 CMP 기술의 연구개발과 응용에 집중해온 화해청과는 2014년 중국 최초의 12인치 CMP 장비를 성공적으로 개발하며 업계에 두각을 드러낸다.

2015년에는 유니버설(Universal)-300 CMP 장비가 중국 최대 파운드리 SMIC(中芯國際∙중신궈지 688981.SH/0981.HK)의 생산라인에 진입했다.

2021년에는 회사의 연마·폴리싱 장비 산업기지가 가동을 시작했으며, 중국 최초의 12인치 초정밀 웨이퍼 박형화(Grinder·그라인더) 장비가 고객사 검증에 들어갔다.

2022년에는 회사의 CMP 장비가 글로벌 패키징 분야 선도 고객사에 성공적으로 진입했으며, 같은 해 과창판에 상장하면서 자본 및 기술 역량을 한층 강화하게 된다. 

◆ '장비+서비스' 양대 사업라인 주축, 포트폴리오 확장

회사는 장기간 집적회로 제조 업스트림 산업사슬의 핵심 분야에 깊이 관여해왔으며, 장비 제조와 기술 서비스를 양대 핵심 사업으로 하는 사업 체계를 구축하고 있다.

'장비 분야'에서는 CMP 장비를 핵심으로 6~12인치 적용 공정을 아우르고 있다. 12인치 CMP 장비는 중국 내 고객사에서 높은 시장점유율을 확보하고 있고 첨단 공정 관련 수주 비중도 지속적으로 높아지고 있다.

동시에 회사는 CMP 장비 외에 웨이퍼 연삭·박형화(Grinder·그라인더), 이온 주입, 웨이퍼 절단(다이싱), 웨이퍼 엣지 폴리싱(Edge Polishing), 습식 장비 등으로 제품 포트폴리오를 늘려왔다.

'서비스 분야'에서는 웨이퍼 재생 사업을 적극적으로 확대하는 한편, 폴리싱 헤드(Polishing Head), 리테이닝 링(Retaining Ring), 에어 멤브레인(Air Membrane. 에어백) 등 핵심 소모품과 유지보수 서비스를 제공하고 있다. 이를 통해 장비 판매부터 애프터마켓 서비스까지 이어지는 폐쇄형 사업 모델을 구축하고 있다.

◆ 매출 87% 견인, CMP 장비는 '핵심 캐시카우'

CMP는 반도체 제조 과정에서 웨이퍼 표면의 단차와 불필요한 물질을 화학적 반응과 기계적 연마를 통해 제거해 평탄하게 만드는 핵심 공정이다. 반도체는 증착·식각 등을 반복하면서 표면에 미세한 높낮이가 생기는데, 이를 그대로 두면 후속 노광·식각·증착 공정의 정밀도가 떨어질 수 있다. CMP는 이러한 표면을 균일하게 평탄화해 다층 구조의 반도체 회로를 안정적으로 형성할 수 있도록 한다.

CMP 장비는 식각(에칭)·노광 공정처럼 웨이퍼에 패턴을 형성하는 장비는 아니지만, 반도체 제조 과정에서 웨이퍼 표면을 평탄화하고 불필요한 박막을 제거하는 데 필수적인 핵심 장비다.

특히 CMP 공정에 사용되는 연마재료는 반도체 제조용 소재 시장에서 중요한 비중을 차지하며, 관련 자료에 따르면 웨이퍼 제조 공정에 투입되는 비용 비중은 약 7%에 달하는 것으로 집계된다. 

CMP 장비는 화해청과의 핵심 수익원으로, CMP 장비 수요 확대는 화해청과의 매출 성장으로 이어질 가능성이 높다.

2025년 화해청과의 영업수익(매출)은 46억4800만 위안으로 전년 대비 36.46% 상승했다. 그 중 반도체 장비의 매출은 전년 대비 33.46% 늘어난 40억5400만 위안으로 전체 매출의 87.2%를 차지했다.

반도체 장비에 포함된 세부 항목 가운데 CMP 장비의 매출은 37억9100만 위안에 달했으며, 전체 매출의 약 81.6%를 차지했다. 

여기서 주목할 점은 2025년부터 사업별 매출 분류 기준이 변경되면서 CMP 장비가 별도 사업군으로 집계되지 않고 '반도체 장비'에 포함됐다는 것이다.

2024년의 경우 CMP장비와 그라인더 장비를 합산한 매출이 29억8700만 위안으로 전체 매출의 87.7%를 차지했는데, 2025년에는 CMP 장비 단독 매출만 37억9100만 위안에 달해 전년도의 CMP·그라인더 합산 매출을 웃돌았다.

사업 분류 기준이 변경됐다는 점을 감안하더라도 CMP 장비 사업의 성장세가 회사 전체 매출 확대를 견인하는 핵심 동력으로 자리하고 있음을 보여준다.

화해청과는 중국 최대 D램 제조사인 창신메모리테크놀로지(長鑫科技∙CXMT 688825.SH)의 주요 CMP 장비 공급업체라는 점에서도 주목된다.

특히 화해청과는 12인치 고급 CMP 장비 분야에서 중국 내 시장점유율 선두권​을 확보하고 있어, CXMT의 증산과 함께 장비 공급 확대가 이어질 경우 실적 성장의 핵심 동력이 될 수 있다는 평가가 나온다.

<[中 거인의 공급망] ②CMP 장비 강자 '화해청과' 없으면 'CXMT'도 없다>로 이어짐.

pxx17@newspim.com